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Descriptif
Mesure large bande de la perméabilité complexe de couches minces isotropes. Les couches minces testées sont déposées sur un support diélectriques.
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Principe
Cette méthode est basée sur la mesure de l'impédance d'une ligne biplaque court-circuitée à son extrémité. L'échantillon testé est une couche mince ou épaisse de forme rectangulaire ou carré, insérée sous le ruban de la ligne devant le court-circuit.
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Dépouillement
La ligne court-circuitée constitue une boucle inductive. La détermination de la perméabilité complexe m* de la couche est déterminée à partir de la mesure de l'impédance de la boucle inductive. Pour éliminer des mesures les erreurs systématiques inhérentes aux dispositifs de test (analyseur, ligne, connecteur...), une soustraction vectorielle entre une mesure en charge et une mesure à vide est réalisée.
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Résultats
- Gamme de fréquences : 130 MHz - 8 GHz (analyseur de réseaux HP8720A)
- Matériaux testés : couches minces ou épaisses magnétiques isotropes
- Procédure d'étalonnage de l'analyseur de réseaux : SOLT.
- Dimensions des échantillons testés :
longueur = 9 mm.
largeur = 9 mm.
épaisseurs = inférieure à 1.8 mm avec le substrat sur lequel le film est déposé.
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Spectre de perméabilité d'une couche mince d'épaisseur 154nm d'un mélange CoNbZr sur substrat rigide.
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Commentaires
La figure ci-dessus représente le spectre d'un phénomène de résonance gyromagnétique marqué.
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1. J.C. Peuzin, J.G. Gay "Etalons de susceptibilité externe pour la calibration des mesures de perméabilité en radiofréquences ou micro-ondes", JCMN Brest (1994).
2. D. Pain, M. Ledieu, O. Acher, A.L. Adenot and F. Duverger "An improved permeameter for thin film measurements up tu 6 Ghz, 43 rd Annual Conference on Magnetism and Materials Miami, USA (1998).
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